Ikhtisar produk
Pengering Wafer Horisontal adalah-pengering aliran laminar in-line otomatis - yang dibuat khusus-untuk manufaktur semikonduktor! Ini memiliki kontrol cerdas, pengoperasian stabil, dan-pengeringan presisi tinggi, semuanya dalam satu. Dirancang untuk dipasangkan dengan mesin pembersih atau peralatan etsa wafer, substrat semikonduktor diperoleh melalui pemrosesan "Dry in → Dry out" dengan mulus.
Keuntungan
Pengering Wafer Horisontal ini adalah pengering aliran laminar (-model Bench yang sepenuhnya otomatis) yang dapat dipasang di mesin pembersih atau mesin wafer pengetsa, dan dapat disesuaikan sesuai kebutuhan pelanggan. Melalui chip substrat pembersih QDR atau DIW (ultra-pembersihan air murni), sehingga peralatan pembersih menjadi kering (Dry in) kering (Dry out).
Keuntungan
Kontrol cerdas PLC membuat semua operasi dapat diandalkan dan program menjadi cerdas.
Mengadopsi penggerak sabuk motor frekuensi variabel, perawatan rendah Segel nitrogen poros putar, desain labirin, memastikan isolasi rongga pengoperasian peralatan dari lingkungan eksternal.
Mekanisme putaran diperiksa dengan keseimbangan dinamis yang tepat, dan rangka utama mengadopsi struktur bantalan untuk memastikan keseimbangan dan stabilitas sistem, mengurangi timbulnya sumber getaran, dan sangat mengurangi laju fragmentasi.
Bagian atas mengadopsi sistem tambahan pemanas silikon impor, pengeringan dan pengeringan tanpa air.
Menggunakan sistem pemanas listrik, pemanasan cepat, mudah dikendalikan dan suhu stabil.
Parameter
|
Informasi Dasar |
Ukuran |
780mm (L) × 1510mm (D) × 1140mm (T) (Tinggi Pintu: 1820mm) |
|
Berat |
Sekitar. 450kg |
|
|
Parameter Spesifikasi |
Persyaratan Tegangan |
AC 380V, 3 fase, 50Hz/60Hz (40A) |
|
Udara Terkompresi (CDA) |
Antarmuka pemasangan pipa 0,5MPa, 15L/mnt, 3/8". |
|
|
Parameter Knalpot |
Laju aliran maks: 18-20m³/jam, diameter antarmuka: 110mm, mendukung sambungan longgar atau sambungan selang |
|
|
Parameter Drainase |
Laju aliran maks: 0,5m³/jam, antarmuka: sambungan longgar PVC DN32 |
|
|
Konfigurasi Motorik |
AC 380V / 3 fase / 5 kabel / 3HP |
|
|
Kontrol Kecepatan |
Kontrol inverter; Kecepatan kerja standar: 800RPM, Kecepatan maks: 999RPM; Batas atas kecepatan dapat diatur sesuai dengan materi pelanggan |
|
|
Waktu Akselerasi/Deselerasi |
Akselerasi: 25 detik dari 0RPM hingga 600RPM; Deselerasi: 40 detik dari 600RPM hingga 0RPM (dapat dikonfigurasi) |
|
|
Arah Rotasi |
Searah jarum jam (dari tampilan atas) |
|
|
Indeks Getaran |
Pada 350RPM, perpindahan P-P sumbu X, Y, Z kurang dari atau sama dengan 90μm |
|
|
pengatur waktu |
Dapat dikonfigurasi melalui-Antarmuka Mesin Manusia (Layar Sentuh) |
|
|
Perawatan Permukaan Peralatan |
Proses Penyemprotan Lembaran Logam |
|
|
Indikator Kinerja |
Beban-Kapasitas Dukung |
Mampu membawa 2 buah kaset "full-cover" berukuran 6-inci-cover / 2 buah kaset dan wafer "full-cover" berukuran 4 inci (kaset disediakan oleh pelanggan) |
|
Bahan yang Berlaku |
Berbagai bahan semikonduktor dengan ketebalan lebih besar dari atau sama dengan 300μm (inklusif) |
|
|
Tingkat Fragmentasi |
Kurang dari atau sama dengan 1/10,000 (inklusif); Catatan: Fragmentasi yang disebabkan oleh kecelakaan atau kegagalan yang tidak terduga akibat komponen mesin termasuk dalam indikator ini; Fragmentasi yang disebabkan oleh cacat produk tidak termasuk |
|
|
Informasi Dasar |
Dimensi Peralatan |
780mm (L) × 1510mm (D) × 1140mm (T) (Tinggi Pintu: 1820mm) |
|
Berat Peralatan |
Sekitar. 450kg |
|
|
Parameter Spesifikasi |
Persyaratan Tegangan |
AC 380V, 3 fase, 50Hz/60Hz (40A) |
|
Udara Terkompresi (CDA) |
Antarmuka pemasangan pipa 0,5MPa, 15L/mnt, 3/8". |
|
|
Parameter Knalpot |
Laju aliran maks: 18-20m³/jam, diameter antarmuka: 110mm, mendukung sambungan longgar atau sambungan selang |
|
|
Parameter Drainase |
Laju aliran maks: 0,5m³/jam, antarmuka: sambungan longgar PVC DN32 |
|
|
Konfigurasi Motorik |
AC 380V / 3 fase / 5 kabel / 3HP |
|
|
Kontrol Kecepatan |
Kontrol inverter; Kecepatan kerja standar: 800RPM, Kecepatan maks: 999RPM; Batas atas kecepatan dapat diatur sesuai dengan materi pelanggan |
|
|
Waktu Akselerasi/Deselerasi |
Akselerasi: 25 detik dari 0RPM hingga 600RPM; Deselerasi: 40 detik dari 600RPM hingga 0RPM (dapat dikonfigurasi) |
Pertanyaan Umum
1. Bahan apa yang cocok untuk Pengering Wafer Horisontal ini?
Ini khusus untuk mengeringkan berbagai bahan semikonduktor dengan ketebalan lebih dari atau sama dengan 300μm (inklusif), kompatibel dengan kaset "sampul penuh" 6-inci dan 4 inci (kaset disediakan oleh pelanggan).
2.Apa keunggulan kinerja inti?
Keunggulan utamanya mencakup tingkat fragmentasi serendah Kurang dari atau sama dengan 1/10.000, kontrol cerdas PLC, segel poros nitrogen (desain labirin) untuk isolasi lingkungan, dan pemanasan listrik yang cepat dan stabil tanpa menetes setelah pengeringan.
3.Dapatkah diintegrasikan dengan lini produksi yang ada?
Ya, ini adalah-model Bench in-line yang sepenuhnya otomatis dan dapat dipasang pada mesin pembersih atau peralatan etsa wafer, mendukung integrasi proses "Dry in → Dry out".
4. Apakah pengoperasiannya-ramah pengguna?
Dilengkapi dengan HMI (layar sentuh) dan kabel 5m, memungkinkan pengaturan timer, batas kecepatan, dan parameter lainnya dengan mudah; penutup pintu yang digerakkan oleh silinder-memungkinkan pengoperasian yang mudah.
Tag populer: pengering wafer horizontal, produsen pengering wafer horizontal Cina, pemasok
