Wafer mengacu pada chip silikon yang digunakan dalam produksi sirkuit semikonduktor silikon, dan bahan bakunya adalah silikon. Setelah melarutkan silikon polikristalin dengan kemurnian-tinggi, biji kristal silikon ditambahkan dan perlahan-lahan ditarik keluar untuk membentuk silikon monokristalin berbentuk silinder. Setelah digiling, dipoles, dan diiris, batang kristal silikon membentuk wafer silikon, juga dikenal sebagai wafer. Lini produksi wafer domestik sebagian besar berukuran 8 inci dan 12 inci.
Metode pemrosesan utama wafer adalah pemrosesan wafer dan pemrosesan batch, yang berarti memproses satu atau lebih wafer secara bersamaan. Dengan berkurangnya ukuran fitur semikonduktor dan kemajuan peralatan pemrosesan dan pengukuran, karakteristik data baru telah muncul dalam pemrosesan wafer. Pada saat yang sama, pengurangan ukuran fitur meningkatkan dampak jumlah partikel di udara terhadap kualitas dan keandalan wafer yang diproses selama pemrosesan wafer. Dengan peningkatan kebersihan, karakteristik data baru juga muncul dalam jumlah partikel.
