Ukuran fitur minimum
Dimensi Kritis Minimum (CD):
Ukuran fitur minimum, juga dikenal sebagai ukuran setengah pitch, adalah salah satu parameter terpenting untuk mengukur kinerja mesin litografi.
Diantaranya adalah konstanta yang bervariasi dalam skema litografi yang berbeda, di mana λ adalah panjang gelombang sumber cahaya masukan dan NA adalah bukaan numerik sistem optik mesin litografi. Untuk konstanta, saat ini mesin litografi DUV ASML di Belanda bisa mencapai maksimum sekitar 0,25, sedangkan EUV masih berkisar 0,35. Semakin kecil panjang gelombang sumber cahaya masukan, semakin kecil pula proses fotolitografi aktual yang dapat dilakukan. Untuk bukaan numerik NA, batas atas nilai ini umumnya 1,0 untuk skema DUV tanpa pembasahan dan sekitar 1,35 untuk skema DUV pembasahan. Dibandingkan dengan litografi non perendaman, mesin litografi perendaman menggunakan cairan tambahan untuk pembiasan selama litografi, biasanya air murni dengan indeks bias sekitar 1,33. Hal ini pula yang menjadi alasan mengapa mesin litografi imersi memiliki NA yang lebih besar.
Akurasi ukiran
Akurasi overlay: Akurasi penyelarasan antara pola masker dan wafer.
Makna dasarnya mengacu pada ketepatan penyelarasan pola antara kedua proses fotolitografi. Jika deviasi penyelarasan terlalu besar maka akan berdampak langsung pada hasil produk.
Toleransi paparan
Garis Lintang Eksposur: Garis lintang eksposur, juga dikenal sebagai margin eksposur, adalah salah satu parameter penting dari jendela proses. Sistem paparan optik dapat membentuk rentang energi paparan yang memenuhi persyaratan tata letak desain. Biasanya ditentukan oleh rentang pemilihan energi paparan dalam ± 10% dari perubahan nilai CD yang terdeteksi oleh hasil paparan. Jika lebar garis dari pola paparan berubah relatif sedikit ketika photoresist menyimpang dari dosis paparan optimal, hal ini menunjukkan bahwa photoresist memiliki toleransi paparan yang besar. Semakin besar toleransi paparan, semakin besar toleransi pembangunan.
Toleransi pencahayaan dan kontras gambar proyeksi berkaitan erat. Jika ukuran fitur gambar yang diproyeksikan memiliki kontras gambar yang buruk, maka akan terlalu sensitif terhadap perubahan dosis
